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| 基于LabVIEW的温控系统 | |
| 引用本文： | 鄢志丹,孙立东,胡春光,胡小唐,P.Zeppenfeld.基于LabVIEW的温控系统[J].仪表技术与传感器,2012(9):13-14,42. |
| 作者姓名： | 鄢志丹 孙立东 胡春光 胡小唐 P.Zeppenfeld |
| 作者单位： | 1. 中国石油大学(华东)信息与控制工程学院,山东青岛266580;林茨大学实验物理研究所原子与表面科学系,奥地利A-4040 2. 林茨大学实验物理研究所原子与表面科学系,奥地利A-4040 3. 天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室,天津,300072 |
| 基金项目： | 国家自然科学基金青年基金(11104354);青岛市科技发展计划项目(12-1-4-7-(5)-jch) |
| 摘 要： | 衬底沉积温度是影响薄膜生长形态的关键因素.针对超高真空薄膜生长中对衬底沉积温度恒温控制需求,文中讨论了基于电阻加热和液氦制冷相结合的温控系统,详细论述了LabVIEW环境下的温控系统应用软件设计思路,该应用软件通过VISA接口与精密温度控制仪进行数据通信,依据其内置的PID控制算法,实现温度控制.测试试验表明:该系统具体良好的恒温效果,能够满足超过超高真空薄膜生长时对衬底沉积温度的温控要求,具有很高的实用价值. |
| 关 键 词： | 温控系统 LabVIEW 串行通信 |
Temperature control system based on LabVIEW |
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| YAN Zhi-dan , SUN Li-dong , HU Chun-guang , HU Xiao-tang , P.Zeppenfeld.Temperature control system based on LabVIEW[J].Instrument Technique and Sensor,2012(9):13-14,42. | |
| Authors: | YAN Zhi-dan SUN Li-dong HU Chun-guang HU Xiao-tang PZeppenfeld |
| Affiliation: | YAN Zhi-dan1,2,SUN Li-dong2,HU Chun-guang3,HU Xiao-tang3,P.Zeppenfeld2(1.College of Information & Control Engineering,China University of Petroleum(East China),266580 Qingdao,Shandong Province,China;2.Institute für Experimentalphysik,Johannes Kepler Universitat Linz,A-4040 Linz,Austria;3.3 State Key Laboratory of Precision Measuring Technology and Instruments,Tianjin University,300072 Tianjin,China) |
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