| 有机铜薄膜的等离子体聚合研究 |
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| 引用本文： | 金心宇,张昱.有机铜薄膜的等离子体聚合研究[J].微细加工技术,1999(4):28-32. |
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| 作者姓名： | 金心宇 张昱 |
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| 作者单位： | 浙江大学信息与电子工程学系!杭州310027 |
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| 摘 要： | 提供了一种用等离子体聚合制备金属－ 有机化合物ＣｕＡＡ 薄膜的实验研究。指出ＣｕＡＡ薄膜随工艺条件的不同可呈现出不同的颜色和电性能，尤其是其电阻率变化范围可达６ － ７ 个数量级。对所制备的ＣｕＡＡ薄膜进行了红外光谱分析和扫描电镜分析。
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| 关 键 词： | 等离子体聚合 金属-有机聚合物 CuAA薄膜 |
Study on Plasma Polymerized Organo copper Film |
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| JIN Xin yu,ZHANG Yu,WANG Rui.Study on Plasma Polymerized Organo copper Film[J].Microfabrication Technology,1999(4):28-32. |
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| Authors: | JIN Xin yu ZHANG Yu WANG Rui |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | Plasma polymerization Metal organic polymer CuAA thin film |
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