| 基于DSP的高速原子力显微镜系统 |
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| 引用本文： | 李敏,韩立,林云生,左燕生,方光荣.基于DSP的高速原子力显微镜系统[J].电子显微学报,2007,26(1):40-43. |
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| 作者姓名： | 李敏 韩立 林云生 左燕生 方光荣 |
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| 作者单位： | 1. 中国科学院电工研究所,北京,100080;中国科学院研究生院,北京,100039
2. 中国科学院电工研究所,北京,100080 |
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| 摘 要： | 传统的以PC机为控制核心的AFM(atomic force microscope)越来越无法满足快速成像的要求,具有先进控制系统的高速AFM正成为国内外的一个研究热点.本文介绍了一种以DSP(digital signal processor)为控制核心的AFM系统.在该系统中,自动进针/退针、扫描电压的产生、A/D采样、D/A输出以及数字闭环反馈控制等任务均在DSP控制下完成;在分辨率为512×512时,可以获得行频55 Hz的扫描速度.实验表明,即便在这样高速扫描的情况下,该系统仍具有良好的成像性能.
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| 关 键 词： | 高速原子力显微镜 AFM DSP |
| 文章编号： | 1000-6281（2007）01-0040-04 |
| 修稿时间： | 2006-09-01 |
A high speed atomic force microscope system based on DSP |
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| LI Min,HAN Li,LIN Yun-sheng,ZUO Yan-sheng,FANG Guang-rong.A high speed atomic force microscope system based on DSP[J].Journal of Chinese Electron Microscopy Society,2007,26(1):40-43. |
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| Authors: | LI Min HAN Li LIN Yun-sheng ZUO Yan-sheng FANG Guang-rong |
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| Affiliation: | 1.Institute of Electrical Engineering,CAS Beijing 100080;2.GUCAS,Beijing 100039 |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | high speed atomic force microscope AFM DSP |
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