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碳纳米管在气敏传感器应用中的研究进展北大核心
引用本文:王佳玮,杨艳青,焦琛,梁颖,张卫珂.碳纳米管在气敏传感器应用中的研究进展北大核心[J].微纳电子技术,2018(4):239-246.
作者姓名:王佳玮  杨艳青  焦琛  梁颖  张卫珂
作者单位:1.太原理工大学环境科学与工程学院030024;2.电子科技大学光电信息学院610054;
基金项目:中国博士后基金第59批面上基金资助项目(2016M592654);山西省基础研究计划资助项目(2015021062)
摘    要:以具有大的表面积及特殊的中空结构的碳纳米管(CNT)作为气敏传感器敏感层材料为基础,介绍了CNT在开发不同类型气敏传感器技术方面的最新进展。综述了CNT及以贵金属、金属氧化物、聚合物改性的CNT作为气敏传感器材料的研究现状,并以气敏传感器的灵敏度和响应速度为标准,对比了CNT与三种CNT复合材料作为气敏传感器敏感层的优缺点。总结了每种传感器的设计方法、制作工艺和传感机理,提出了CNT气敏传感器当前面临的技术挑战,并对以后CNT作为气敏传感器材料的发展进行展望。

关 键 词:碳纳米管(CNT)  气敏传感器  贵金属  金属氧化物  聚合物
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