| 铝离子注入Si3N4陶瓷的抗氧化性能 |
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| 引用本文： | 冯建基,李国卿,张长瑞,牟宗信,齐民,刘洪泽,周新贵.铝离子注入Si3N4陶瓷的抗氧化性能[J].硅酸盐学报,2004,32(9):1060-1063. |
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| 作者姓名： | 冯建基 李国卿 张长瑞 牟宗信 齐民 刘洪泽 周新贵 |
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| 作者单位： | 1. 大连理工大学,三束材料改性国家重点实验室,辽宁,大连,116024
2. 国防科技大学,长沙,410011 |
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| 摘 要： | 针对高精密氮化硅陶瓷器件的需求,采用金属蒸发真空电弧离子注入机进行金属Al+3注入Si3N4,并对其抗氧化性能进行了研究.注入能量为40 keV,注入剂量分别为5×1016 ion/cm2和2×1017 ion/cm2.在1 200 ℃,长达77 h,对Si3N4的循环氧化行为进行了实验研究.用SEM,XRD和EDS等方法对样品进行了观察和分析.结果表明Al+3注入提高了Si3N4样品的抗氧化性能,氧化质量变化符合抛物线规律.原始Si3N4样品的氧化层较厚,与基体有较明显的分层现象;注入铝的Si3N4试样氧化层较薄和致密,与基体没有明显的分层现象,电子价态分析表明注入的金属铝形成的氧化铝是提高Si3N4抗氧化性能的主要原因.
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| 关 键 词： | 氮化硅 离子注入 氧化 铝 |
| 文章编号： | 0454-5648(2004)09-1060-04 |
| 修稿时间： | 2004年1月15日 |
OXIDATION RESISTANCE OF Si3N4 CERAMICS WITH ALUMINUM ION IMPLANTATION |
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| FENG Jianji.OXIDATION RESISTANCE OF Si3N4 CERAMICS WITH ALUMINUM ION IMPLANTATION[J].Journal of The Chinese Ceramic Society,2004,32(9):1060-1063. |
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| Authors: | FENG Jianji |
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| Affiliation: | FENG Jianji~ |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | silicon nitride ion implantation oxidation aluminum |
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