| 充入气体含水量对超高真空系统排气特性的影响 |
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| 引用本文： | 殷立新,山本显弘.充入气体含水量对超高真空系统排气特性的影响[J].真空,2002(5):46-49. |
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| 作者姓名： | 殷立新 山本显弘 |
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| 作者单位： | 1. 国家上海同步辐射中心,筹,,上海,201800
2. 日本高能物理研究所,日本·筑波,305 |
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| 摘 要： | 在未烘烤的超高真空系统中，真空室表面所吸附的水蒸汽是影响排气时间及极限真空度的关键因素。通过实验，对充气气体中水蒸汽含量及操作方式与真空系统排气特性的关系进行了测试，为超高真空系统操作工艺的确定提供了依据。
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| 关 键 词： | 充入气体 含水量 超高真空系统 排气特性 电子储环 测试系统 |
| 文章编号： | 1002-0322(2002)05-0046-04 |
| 修稿时间： | 2002年5月29日 |
Influence of moisture content in venting gas on the pump-down characteristics of UHV system |
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| YIN Li-xin ,YAMAMOTO Akihiro.Influence of moisture content in venting gas on the pump-down characteristics of UHV system[J].Vacuum,2002(5):46-49. |
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| Authors: | YIN Li-xin YAMAMOTO Akihiro |
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| Affiliation: | YIN Li-xin 1,YAMAMOTO Akihiro 2 |
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| Abstract: | The water absorbed on the surface of vacuum chamber dominates the pumping time and ultimate pressure in a unbaked out UHV system. The relation between moisture content in the venting gas, the operating techniques and the pump down curve has been tested in experiments. It can provide the basis of UHV system operation. |
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| Keywords: | Ultrahigh vacuum absorption pump down |
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