| 梳齿的不平行对电容式微机械传感器
阶跃信号响应的影响 |
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| 引用本文： | 董林玺,孙玲玲,车录锋,王跃林.梳齿的不平行对电容式微机械传感器
阶跃信号响应的影响[J].传感技术学报,2005,18(3):525-530. |
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| 作者姓名： | 董林玺 孙玲玲 车录锋 王跃林 |
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| 作者单位： | 1. 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室,上海,200050
2. 杭州电子科技大学微电子CAD研究所,杭州,310018 |
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| 基金项目： | 国家重点基础研究规划973项目“集成微光机电系统”资助（G1999033101） |
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| 摘 要： | 分析了梳齿电容式传感器在三种电容驱动方式下,梳齿电容极板的不平行对传感器受到阶跃加速度信号作用时可靠工作条件的影响。得到了梳齿倾斜效应对传感器阶跃加速度响应影响的分析模型。结果表明梳齿电容在同样的电压驱动下,若电容极板的倾斜角变到0.5°时,对于单边电容结构、双边电容结构和有力反馈的双边电容结构,传感器能够承受的临界阶跃加速度分别变为电容极板完全平行时的0.34、0.44、0.52。并针对DRIE工艺刻蚀梳齿的原理,讨论了改进梳齿不平行的方法。
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| 关 键 词： | 电容式传感器 惯性传感器 可靠工作范围 阶跃信号 |
| 文章编号： | 1005-9490（2005）03-0525-06 |
| 收稿时间： | 2004-12-20 |
| 修稿时间： | 2004年12月20日 |
Effect of Non2Parallel Combs of the Capacitive
Micro2Sensor on the Pulse Signal Response |
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| DON G L i nx i,S UN L i n gl i n g,C H E L uf eng,WA N G Yuel i n.Effect of Non2Parallel Combs of the Capacitive
Micro2Sensor on the Pulse Signal Response[J].Journal of Transduction Technology,2005,18(3):525-530. |
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| Authors: | DON G L i nx i S UN L i n gl i n g C H E L uf eng WA N G Yuel i n |
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| Affiliation: | 1. I nstitute of Microelect ronics CA D of Hangz hou Dianz i Universit y 310018 , China;
2. S tate Key L aboratory of Trans ducer Technology of S hanghai I nstitute of Micros ystem
and I nf ormation Technology , Chinese Academy of Sciences , S hangha |
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| Abstract: | The effect of non2parallel combs of t he micromechanical sensor on t he reliable operation condition
in t hree capacitive accelerometer configurations is investigated. The model for analyzing the effect of non2
parallel combs is found. It is found t hat at t he same drive voltage , t he reliable operation ranges of the sen2
sor s for t he single capacitor , double2sided capacitor and force2balanced capacitor are diminished to 0. 34 , 0.
44 , 0. 52 , respectively when t he angle of decline is changed f rom 0°to 0. 5°1 The met hod to diminish t he
effect of non2parallel is al so investigated. |
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| Keywords: | capacitive sensor inertial sensor reliable operation condition step signal |
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