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室温相变氧化钒薄膜的制备及其CO2激光毁伤试验
引用本文:乔亚,路远.室温相变氧化钒薄膜的制备及其CO2激光毁伤试验[J].激光与红外,2014,44(10):1137-1142.
作者姓名:乔亚  路远
作者单位:1. 脉冲功率激光技术国家重点实验室,安徽 合肥230037; 红外与低温等离子体安徽省重点实验室,电子工程学院,安徽 合肥230037
2. 红外与低温等离子体安徽省重点实验室,电子工程学院,安徽 合肥230037
基金项目:脉冲功率激光国家重点实验室主任基金项目(No.SKL2013ZR03);红外与低温等离子体安徽省重点实验室基金项目(No.2010A001004D)资助。
摘    要:军事目标的抗强激光毁伤是亟待解决的热点难点问题,利用氧化钒的相变特性进行激光防护是当前这一领域的热点之一。本文采用直流磁控溅射加后续热处理的方法在普通玻璃基底上制备了氧化钒薄膜,通过测量其电阻温度特性曲线来观测其相变特性,并利用功率为8.9 W、光斑直径为4.4 mm的二氧化碳连续激光分别照射用作基底的普通玻璃和制备的相变氧化钒薄膜样品进行激光毁伤试验。试验数据显示该薄膜的相变温度约为30°C,薄膜的双向光谱反射率在相变前后分别为13.48%和76.4%,用作基底的玻璃在激光照射7.5 s后破碎,而制备的薄膜样品在照射38 s后才破碎。这表明本文制备的室温相变氧化钒薄膜在相变后具有高反射特性,从而具有一定的抗强激光毁伤能力。

关 键 词:激光防护  氧化钒薄膜  相变  磁控溅射

Fabrication and CO2 laser damage experiment of room-temperature phase transition vanadium oxide film
QIAO Y,LU Yuan.Fabrication and CO2 laser damage experiment of room-temperature phase transition vanadium oxide film[J].Laser & Infrared,2014,44(10):1137-1142.
Authors:QIAO Y  LU Yuan
Affiliation:State Key Laboratory of Pulsed Power Laser Technology,Hefei 230037,China;Key Lab of Infrared and Low Temperature Plasma of Anhui Province,Electronic Engineering Institute,Hefei 230037,China
Abstract:
Keywords:laser protection  vanadium oxide film  phase transition  magnetron sputtering
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