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| SOS型pH-ISFET的研制 | |
| 引用本文： | 汪正孝,陈克铭,孙安纳,张智宏,李淑英.SOS型pH-ISFET的研制[J].化学传感器,1988(4). |
| 作者姓名： | 汪正孝 陈克铭 孙安纳 张智宏 李淑英 |
| 作者单位： | 中科院半导体所，中科院半导体所，中科院半导体所，中科院半导体所，中科院半导体所 |
| 摘 要： | 一、概述离子敏场效应管(简称ISFET)以及在此基础上发展起来的生物敏场效应管(简称生物敏FET)由于具有超小型、高速响应、易实现多功能化和集成化等特点,是当前一类极有前途、富有生命力的器件。一般来说,ISFET都是用普通的硅材料来制作的。近几年来,国际上报道了用新型的“兰宝石上外延硅”(Silicon—On—Sapphire,简称为SOS)材料来制作ISFET。SOS—ISFET与普通的Si—ISFET相比,有如下优点: |
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