| 一种制备大面积超导薄膜的激光扫描淀积方法 |
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| 引用本文： | 宋文栋,安承武,陆冬生,范永昌,李再光.一种制备大面积超导薄膜的激光扫描淀积方法[J].中国激光,1993,20(11):853-856. |
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| 作者姓名： | 宋文栋 安承武 陆冬生 范永昌 李再光 |
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| 作者单位： | 华中理工大学激光技术国家重点实验室，华中理工大学激光技术国家重点实验室，华中理工大学激光技术国家重点实验室，华中理工大学激光技术国家重点实验室，华中理工大学激光技术国家重点实验室 武汉 430074，武汉 430074，武汉 430074，武汉 430074，武汉 430074 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目 |
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| 摘 要： | 本文报道了一种制备大面积超导薄膜的激光扫描淀积方法。这种方法是通过一光学变换传输系统使激光束能绕一定的半径旋转,旋转的激光束去扫描消融超导靶材来淀积大面积超导薄膜。实验表明用这种激光扫描淀积方法可使超导薄膜的均匀区域扩大10倍左右。
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| 关 键 词： | 激光扫描 大面积超导薄膜 |
| 收稿时间： | 1993/1/11 |
A laser scanning deposition method for large area superconducting films |
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| SONG Wendong,AN Chengwu,LU Dongsheng,FAN Yongchang,LI Zaiguang.A laser scanning deposition method for large area superconducting films[J].Chinese Journal of Lasers,1993,20(11):853-856. |
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| Authors: | SONG Wendong AN Chengwu LU Dongsheng FAN Yongchang LI Zaiguang |
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| Abstract: | In this paper, a laser scanning deposition method for large area superconducting films is presented. Using a optical transmission system to make the laser beam to scan on the superconducting target with different radii rotation and to ablate it for depositing large area superconducting films. The results show that film thickness uniform areas enlarge about 10 times using this method. |
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| Keywords: | laser scanning large area superconducting films |
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