圆光栅的检测及数据处理

本文阐述了作为角位移计量元件——圆光栅的各项精度指标的定义,检测及数据处理的方法。讨论了减少检测误差的途径。最后介绍专用测试仪器MJ-50型码盘(圆光栅)自动检验仪的功能、特性等。