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低烧ZnO-TiO2微波陶瓷介电特性及片式多层带通滤波器研究
引用本文:张启龙,杨辉,邹佳丽,陆德龙.低烧ZnO-TiO2微波陶瓷介电特性及片式多层带通滤波器研究[J].微波学报,2006,22(1):65-70.
作者姓名:张启龙  杨辉  邹佳丽  陆德龙
作者单位:1. 浙江大学材料与化工学院,杭州,310027
2. 浙江正原电气股份有限公司,嘉兴,314003
基金项目:863计划重点项目(2003AA302760),浙江省重大科技计划项目(2005C21038)
摘    要:采用材料特性、器件设计及制备工艺相结合的三位一体研究模式,研究了低烧ZnO-TiO2微波陶瓷介电特性,利用高频结构仿真软件HFSS对低烧陶瓷带通滤波器微波特性进行建模,重点介绍材料介电特性对片式带通滤波器性能影响的优化仿真,采用LTCC制造工艺技术制备片式多层带通陶瓷滤波器。研究结果表明:ZnO-TiO2微波陶瓷在895~910℃烧结,陶瓷相ZnTiO3、TiO2稳定存在,具有较佳的微波介质特性,在900℃烧结3h,其介电性能:εr=27.05、Qf=19822GHz、τf=2ppm/℃,该材料与Ag电极能较好匹配。模拟仿真表明:低烧材料的相对介电常数偏差是器件设计制备中的关键要素,仿真优化结果与LTCC试验样品的测试结果吻合较好。制备出的片式多层带通滤波器适用于表面贴装技术。

关 键 词:低温共烧陶瓷  ZnTiO3  滤波器  片式多层结构
文章编号:1005-6122(2006)01-0065-06
收稿时间:2004-09-28
修稿时间:2005-03-22

The Study of Dielectric Properties of ZnO-TiO2 Microwave Ceramic Sinterd at Low-temperature and Chip Multilayer Bandpass Filter
ZHANG Qi-long,YANG Hui,ZOU Jia-li,LU De-long.The Study of Dielectric Properties of ZnO-TiO2 Microwave Ceramic Sinterd at Low-temperature and Chip Multilayer Bandpass Filter[J].Journal of Microwaves,2006,22(1):65-70.
Authors:ZHANG Qi-long  YANG Hui  ZOU Jia-li  LU De-long
Abstract:
Keywords:LTCC  ZnTiO_3  Filter  Chip multilayer structure
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