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| 微电机械系统 | |
| 引用本文： | 方舟 ,严寒.微电机械系统[J].光机电信息,2002(1). |
| 作者姓名： | 方舟 严寒 |
| 作者单位： | |
| 摘 要： | ２００２０１００３７用于显示的基于微电机械系统的干涉调制器＝MEMS－basedinterferometricmodulatorfordisplayapplica－tions犤英犦／MilesMW∥Proc．SPIE．—１９９９．３８７６－２０～２８２００２０１００３８微电机械系统毫米波无线电收发机的结构＝MEMSmil－limeter－wavetransceiverarchitectures犤英犦／ChiaoJC，ChoudhuryD∥Proc．SPIE．—１９９９，３８７６．－１４２～１５２２００２０１００３９微电机械高密度能量存储／快速释放系统＝Microelec－tromechanicalhigh－densityenergystorage／rapidreleasesyst… |
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