| 微球探针制备工艺的优化 |
| |
| 引用本文： | 许斌,唐海容,赵世平,阳红.微球探针制备工艺的优化[J].传感器与微系统,2016(8):77-79. |
| |
| 作者姓名： | 许斌 唐海容 赵世平 阳红 |
| |
| 作者单位： | 1. 四川大学制造科学与工程学院,四川成都,610065;2. 中国工程物理研究院机械制造工艺研究所,四川绵阳,621999 |
| |
| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目(51405314)，中国工程物理研究院超精密加工技术重点实验室开放基金资助项目(KF15004)，中央高校基本科研业务费资助项目(2015SCU04A12) |
| |
| 摘 要： | 为了解决现有激光微球探针加工技术中存在的探针尖端微球球心偏离针杆中轴线的问题,提出了一个两步法加工策略.以CO2激光光束为热源,对探针针杆尖端进行加热,使针杆尖端受热融化产生微球.然后将带有微球的探针针杆绕其中轴线旋转180°,再使用CO2激光光束辐照带有微球的探针尖端,对尖端微球偏移量进行补偿.实验结果表明:采用“熔球-旋转再熔球”的两步法加工策略,能明显降低探针尖端微球相对于针杆的弯曲程度,缩小探针尖端球形球心和针杆中心线的偏移距离.
|
| 关 键 词： | CO2激光 微探针 微球尖端 中心偏移 |
Optimization of preparation technology of micro-spherical probes |
| |
| XU Bin,TANG Hai-rong,ZHAO Shi-ping,YANG Hong.Optimization of preparation technology of micro-spherical probes[J].Transducer and Microsystem Technology,2016(8):77-79. |
| |
| Authors: | XU Bin TANG Hai-rong ZHAO Shi-ping YANG Hong |
| |
| Abstract: | |
| |
| Keywords: | CO2 laser micro probe microsphere tip center offset |
| 本文献已被 万方数据 等数据库收录！ |
|
