| 基于FPGA的引线键合超声电源的研究 |
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| 引用本文： | 蒋礼,黎辉勇,王福亮.基于FPGA的引线键合超声电源的研究[J].压电与声光,2009,31(3). |
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| 作者姓名： | 蒋礼 黎辉勇 王福亮 |
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| 作者单位： | 1. 中南大学,物理学院,湖南,长沙,410083
2. 中南大学,机电学院,湖南,长沙,410083 |
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| 基金项目： | 国家九七三计划基金，国家自然科学基金 |
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| 摘 要： | 为进一步提高热超声引线键合超声电源的自动频率跟踪速度及精度,提出了基于现场可编程门阵列(FPGA)的超声电源设计方案.利用FPGA并行执行的特点,移位乘法器的流水线功能及数字增量式比例、积分及微分(PID)控制算法,缩短了回路控制时间,提高了自动频率跟踪的速度.采用高精度的直接数字频率合成(DDS)和数字锁相环技术,实现了高频率跟踪精度.实验表明,在空载及给定负载状态下,超声变幅杆从失谐状态到谐振状态仅需0.6～1.1 ms;频率跟踪误差不超过士50 Hz.
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| 关 键 词： | 现场可编程门阵列(FPGA) 超声电源 自动频率跟踪 直接数字频率合成(DDS) |
Research of Ultrasonic Power Supply in Wire Bonding Based on FPGA |
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| JIANG Li,LI Hui-yong,WANG Fu-liang.Research of Ultrasonic Power Supply in Wire Bonding Based on FPGA[J].Piezoelectrics & Acoustooptics,2009,31(3). |
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| Authors: | JIANG Li LI Hui-yong WANG Fu-liang |
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