| 倒装GaN基发光二极管阵列微透镜的粗化技术 |
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| 引用本文： | 刘志强,王良臣,伊晓燕,王立彬,陈宇,郭德博,马龙.倒装GaN基发光二极管阵列微透镜的粗化技术[J].半导体学报,2007,28(Z1). |
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| 作者姓名： | 刘志强 王良臣 伊晓燕 王立彬 陈宇 郭德博 马龙 |
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| 作者单位： | 中国科学院半导体研究所,集成技术中心,北京,100083 |
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| 摘 要： | 通过模拟计算,分析了阵列微透镜粗化对倒装结构GaN基LED提取效率的影响.并采用感应耦合等离子(ICP)干法刻蚀技术在蓝宝石表面制备阵列微透镜,实现倒装结构GaN基LED出光面粗化.测试结果表明,相对于普通倒装结构,阵列微透镜表面粗化可以使LED提取效率提高约50%,测试结果与模拟计算值相符合.
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| 关 键 词： | GaN基LED ICP 阵列微透镜 粗化 |
Surface Roughening with Sapphire Microlens Arrays in Flip-Chip GaN-Based LEDs |
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| Liu Zhiqiang,Wang Liangchen,Yi Xiaoyan,Wang Libin,Chen Yu,Guo Debo,Ma Long.Surface Roughening with Sapphire Microlens Arrays in Flip-Chip GaN-Based LEDs[J].Chinese Journal of Semiconductors,2007,28(Z1). |
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| Authors: | Liu Zhiqiang Wang Liangchen Yi Xiaoyan Wang Libin Chen Yu Guo Debo Ma Long |
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