| 一种新型的材料内应力测试方法——偏振透射差分法 |
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| 引用本文： | 赵玲慧,陈涌海.一种新型的材料内应力测试方法——偏振透射差分法[J].半导体学报,2007,28(Z1). |
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| 作者姓名： | 赵玲慧 陈涌海 |
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| 作者单位： | 中国科学院半导体研究所,北京,100083 |
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| 摘 要： | 采用一种全新的偏振透射差分法-PTD(polarization transmittance difference)法来测量半导体衬底材料的内应力分布.由于该方法使用了偏振调制技术,无需旋转样品或者偏振元件进行多次测量,使得测量过程变得简单、迅速,并准确给出整体材料的内应力二维分布图.此方法属于无损测试.
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| 关 键 词： | 偏振透射差分 内应力 弹光效应 光弹性调制器 |
A New Method for Testing Inner Strains of Semiconductor Substrate Materials——Polarization Transmittance Difference |
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| Zhao Linghui,Chen Yonghai.A New Method for Testing Inner Strains of Semiconductor Substrate Materials——Polarization Transmittance Difference[J].Chinese Journal of Semiconductors,2007,28(Z1). |
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| Authors: | Zhao Linghui Chen Yonghai |
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