| 铁氧体表面Cr/Ni/Ag复合薄膜制备及性能研究 |
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| 引用本文： | 李洪,崔骏,林松盛,石倩,蔡畅,韦春贝,黄裕坤.铁氧体表面Cr/Ni/Ag复合薄膜制备及性能研究[J].表面技术,2019,48(12):125-130. |
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| 作者姓名： | 李洪 崔骏 林松盛 石倩 蔡畅 韦春贝 黄裕坤 |
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| 作者单位： | 广东省新材料研究所现代材料表面工程技术国家工程实验室广东省现代表面工程技术重点实验室,广州510650;中山国磁真空技术有限公司,广东中山528445 |
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| 基金项目： | 中山市广东省科学院技术转移专项（2017G1FC0006）；广东省科技计划项目（2017A050506037）；广东省科技厅项目（2017A070701027）；2017省院项目（2017GDASCX-0202）；2018年省院项目（2018GDASCX-0402） |
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| 摘 要： | 目的利用真空镀膜技术对铁氧体电磁感芯表面进行金属化处理,对金属薄膜的结构及性能进行综合分析,为其实现工程应用提供一定的理论基础。方法采用多腔一体式磁控溅射设备在铁氧体磁体表面依次沉积Cr、Ni、Ag,作为铁氧体表面复合金属薄膜。采用扫描电镜对复合薄膜表面、截面形貌进行表征;利用原子力显微镜对复合薄膜表面粗糙度进行测量;利用划格法对复合薄膜附着力进行测试;利用冲压试验对复合薄膜剥离强度进行测试;利用拉伸试验对复合薄膜结合强度进行测试;利用浸锡试验对复合薄膜耐焊性进行测试。结果试验制备的Cr/Ni/Ag复合薄膜各层厚度分别为420、4200、550 nm,Cr层与Ni层有明显柱状晶结构,层间界面清晰、无明显孔隙,Ag层与Ni层紧密结合。复合薄膜表面粗糙度为13 nm,附着力达0B级,结合力为30 N,抗拉强度达42 MPa。复合薄膜经过450℃浸锡18 s后,表面金属薄膜无脱焊或露底。结论采用磁控溅射技术制备的Cr(420 nm)/Ni(4200 nm)/Ag(550 nm)复合金属薄膜结构致密均匀,综合性能优异,达到铁氧体电感磁芯表面金属薄膜技术要求。
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| 关 键 词： | 铁氧体 磁控溅射 复合金属薄膜 Cr/Ni/Ag 结合强度 耐焊性 |
| 收稿时间： | 2019/4/25 0:00:00 |
| 修稿时间： | 2019/12/20 0:00:00 |
Preparation and Properties of Cr/Ni/Ag Composite Films on Ferrite |
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| LI Hong,CUI Jun,LIN Song-sheng,SHI Qian,CAI Chang,WEI Chun-bei and HUANG Yu-kun.Preparation and Properties of Cr/Ni/Ag Composite Films on Ferrite[J].Surface Technology,2019,48(12):125-130. |
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| Authors: | LI Hong CUI Jun LIN Song-sheng SHI Qian CAI Chang WEI Chun-bei and HUANG Yu-kun |
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| Affiliation: | 1.National Engineering Laboratory for Surface Engineering Technology, Key Lab of Guangdong for Modern Surface Engineering Technology, Guangdong Institute of New Materials, Guangzhou 510650, China,2.Zhongshan Guoci Vacuum Technology Co., Ltd, Zhongshan 528445, China,1.National Engineering Laboratory for Surface Engineering Technology, Key Lab of Guangdong for Modern Surface Engineering Technology, Guangdong Institute of New Materials, Guangzhou 510650, China,1.National Engineering Laboratory for Surface Engineering Technology, Key Lab of Guangdong for Modern Surface Engineering Technology, Guangdong Institute of New Materials, Guangzhou 510650, China,2.Zhongshan Guoci Vacuum Technology Co., Ltd, Zhongshan 528445, China,1.National Engineering Laboratory for Surface Engineering Technology, Key Lab of Guangdong for Modern Surface Engineering Technology, Guangdong Institute of New Materials, Guangzhou 510650, China and 2.Zhongshan Guoci Vacuum Technology Co., Ltd, Zhongshan 528445, China |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | ferrite magnetron sputtering composite metallized film Cr/Ni/Ag bonding strength soldering resistance |
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