| 悬桥式微流量传感器 |
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| 引用本文： | 能斌,陆德仁,王渭源.悬桥式微流量传感器[J].功能材料与器件学报,1996,2(3):194-199. |
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| 作者姓名： | 能斌 陆德仁 王渭源 |
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| 作者单位： | 中国科学院传感技术国家重点实验室，中国科学院上海冶金研究所 |
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| 基金项目： | 机械工业部“八五”科技攻关项目,国家自然科学基金 |
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| 摘 要： | 本文报导了悬桥式微流量传感器的制作以及特性测试，这种传感器采用硅微机械加工技术在硅片上制作微悬桥，微悬桥由二氧化硅、ＬＰＣＶＤ多晶硅、ＬＰＣＶＤ氮化硅三明治结构材料组成。该传感器可测量０．０１～１００ＳＣＣＭ的气体流量，其响应时间小于１０ｍｓ，芯片尺寸为７×６ｍｍ２。
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| 关 键 词： | 传感器 流量传感 微悬桥 |
MICROBRIDGE FLOW SENSOR |
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| XIONG Bin,LU Deren and WANG Weiyuan.MICROBRIDGE FLOW SENSOR[J].Journal of Functional Materials and Devices,1996,2(3):194-199. |
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| Authors: | XIONG Bin LU Deren and WANG Weiyuan |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | Sensor flow sensor microbridge |
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