今日SiC电子学

ＳｉＣ是近几年迅速发展的一种半导体材料，在微波功率器件、功率电子开关器件、高温工作器件等方面比Ｓｉ和ＧａＡｓ具更大的优势。本文介绍了ＳｉＣ材料特性、材料制备及目前器件研制水平。