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| 惯性约束聚变用合金薄膜靶制备方法 | |
| 引用本文： | 吴卫东,许华,唐晓虹,陈志梅.惯性约束聚变用合金薄膜靶制备方法[J].原子能科学技术,2002,36(4):309-312,347. |
| 作者姓名： | 吴卫东 许华 唐晓虹 陈志梅 |
| 作者单位： | 中国工程物理研究院,激光聚变研究中心,四川,绵阳,621900 |
| 基金项目： | 国家"863"计划资助项目(863-416-5) |
| 摘 要： | 阐述了与制备惯性约束聚变（ICF）用合金薄膜靶有关的理论和方法,讨论了ICF合金薄膜靶制备中存在的问题与解决方案。对制备方法的选择、组成合金薄膜的性质与结构和成分分布的关系进行了分析及讨论。 |
| 关 键 词： | 合金薄膜靶 制备方法 惯性约束聚变 热蒸发法 磁控溅射 |
| 文章编号： | 1000-6931(2002)04/05-0309-04 |
Fabrication Method of Inertial Confinement Fusion Alloy-films Target |
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