| 压阻式微型压力传感器敏感结构设计 |
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| 引用本文： | 易选强,苑伟政,马炳和,陈爽,邓进军.压阻式微型压力传感器敏感结构设计[J].西北工业大学学报,2008,26(6). |
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| 作者姓名： | 易选强 苑伟政 马炳和 陈爽 邓进军 |
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| 作者单位： | 西北工业大学陕西省微/纳米系统重点实验室,陕西西安,710072 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金，航空基础科学基金 |
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| 摘 要： | 在设计某一压阻式压力传感器特定敏感结构的过程中,对出现的技术难题进行了研究。文中的第2部分设计了弹性膜片的典型结构;第3部分设计了压敏电阻的尺寸以及阻值;第4部分使用ANSYS软件分析了弹性膜片在不同压力作用下的应力、应变分布,确定了压敏电阻在弹性膜片上的最佳分布位置。分析结果表明:压敏电阻距离弹性膜片边缘越近,灵敏度越高。同时计算了不同外界压力载荷和不同位置条件下压敏电阻的电压输出变化情况,提取了敏感膜片的固有频率和响应时间。文中响应时间曲线表明:所设计的微型压阻式压力传感器响应速度快,稳定时间仅为1.0×10~(-5)s。
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| 关 键 词： | 传感器 微机电系统 微型压阻式压力传感器 膜片 |
Designing the Sensing Structure of a Certain Micro Piezoresistive Pressure Sensor |
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| Yi Xuanqiang,Yuan Weizheng,Ma Binghe,Chen Shuang,Deng Jinjun.Designing the Sensing Structure of a Certain Micro Piezoresistive Pressure Sensor[J].Journal of Northwestern Polytechnical University,2008,26(6). |
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| Authors: | Yi Xuanqiang Yuan Weizheng Ma Binghe Chen Shuang Deng Jinjun |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | sensors MEMS micro piezoresistive pressure sensor diaphragm |
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