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| 激光核聚变靶表面几何参数扫描探针测量技术 | |
| 引用本文： | 孙涛,高党忠,唐永建,傅依备,董申.激光核聚变靶表面几何参数扫描探针测量技术[J].原子能科学技术,2002,36(4):361-363. |
| 作者姓名： | 孙涛 高党忠 唐永建 傅依备 董申 |
| 作者单位： | 1. 中国工程物理研究院,激光聚变研究中心,四川,绵阳,621900;哈尔滨工业大学,精密工程研究所,黑龙江,哈尔滨,150001 2. 中国工程物理研究院,激光聚变研究中心,四川,绵阳,621900 3. 哈尔滨工业大学,精密工程研究所,黑龙江,哈尔滨,150001 |
| 摘 要： | 应用改造的原子力显微镜（AFM）作为传感系统，配合精密回转气浮轴系和三维微定位装置，实现了对激光核聚变靶球圆周方位形状误差的精密测量。采用该测量技术获得的靶球表面几何参数的测量数据及分析结果可为制靶工艺提供检测手段，并为激光打靶实验提供准确的靶球表面形貌参数。 |
| 关 键 词： | 激光核聚变靶 表面几何参数 扫描探针 测量技术 原子力显微镜 精密测量 表面形貌 |
| 文章编号： | 1000-6931(2002)04/05-0361-03 |
| 修稿时间： | 2001年8月25日 |
Measurement Technology of the Surface Characteristic of the Inertial Confinement Fusion Targets With Scanning Probe Microscope |
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