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| 激光干涉比长仪的瞄准方法 | |
| 引用本文： | 张晓,茅振华,陈挺,周红明,高宏堂,叶孝佑.激光干涉比长仪的瞄准方法[J].计量技术,2016(12):3-6. |
| 作者姓名： | 张晓 茅振华 陈挺 周红明 高宏堂 叶孝佑 |
| 作者单位： | 1. 浙江省计量科学研究院,杭州,310012;2. 中国计量科学研究院,北京,100029 |
| 基金项目： | 中国计量科学研究院技改项目(SJG0301)，中国计量科学研究院基本科研业务(AKY0733) |
| 摘 要： | 本文提出一种改进型的单狭缝刻线瞄准方法,通过计算刻线信号重心坐标平均值,确定刻线中心位置,实验结果表明因刻线信号形状不规则引起的误差小于4nm;通过简化算法将计算时间缩短到1s以内,实现了测量数据的实时处理。 |
| 关 键 词： | 激光干涉比长仪 刻线瞄准 单狭缝 |
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