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| PG15-J4型激光平面干涉仪的数字化改造 | |
| 引用本文： | 谈冬兴,沈磊,蒲琴.PG15-J4型激光平面干涉仪的数字化改造[J].计量技术,2016(8):30-32. |
| 作者姓名： | 谈冬兴 沈磊 蒲琴 |
| 作者单位： | 1. 南京市计量监督检测院,南京,210037;2. 南京理工大学,南京,210094 |
| 摘 要： | 本文研究对中国科学院上海光学精密机械研究所生产的PG15-J4型激光平面干涉仪进行数字化改造,通过加装CCD相机,将干涉图像采集到计算机中,然后对采集到的图像进行滤波、细化等处理,并按照JJG 28—2000《平晶检定规程》对图像处理后得到的条纹进行计算,得到被测平晶的平面度。经实验验证,改造后的干涉仪满足了对?150mm以下的一、二级平晶的检定要求,适用于计量部门对平晶进行检定。 |
| 关 键 词： | 等厚干涉仪 平面度 干涉条纹 图像处理 |
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