| 聚二甲基硅氧烷薄膜对声表面波传播特性影响 |
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| 引用本文： | 章安良,张小权,胡文艳,付相庭,查燕. 聚二甲基硅氧烷薄膜对声表面波传播特性影响[J]. 压电与声光, 2015, 37(5): 748-751 |
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| 作者姓名： | 章安良 张小权 胡文艳 付相庭 查燕 |
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| 作者单位： | （1. 常州工学院 电子信息与电气学院， 江苏 常州 213002；,2.宁波大学 微纳电子系统研究所, 浙江 宁波 315211） |
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| 基金项目： | 常州工学院科研基金资助项目（YN1404）；常州工学院大学生创新基金资助项目（J140029），浙江省重点学科基金资助项目（Xkl11077）;江苏省大学创新基金资助项目（201511055039X） |
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| 摘 要： | 研究了压电基片上聚二甲基硅氧烷(PDMS)薄膜对声表面波(SAW)传播特性影响。在128°YXLiNbO3压电基片上光刻叉指换能器(IDT),其声传播路径上涂覆PDMS薄膜,IDT激发的SAW加热PDMS薄膜上石蜡油微流体,并测量不同PDMS薄膜厚度时石蜡油微流体的温度,进而计算薄膜对SAW的衰减量。实验结果和理论计算表明,压电基片上涂覆PDMS薄膜将衰减辐射入石蜡油微流体的声表面波强度,衰减幅度随基片上PDMS薄膜厚度的增加而增加。当压电基片上涂覆的PDMS薄膜厚度为100μm和150μm时,薄膜对SAW衰减量分别为23.3%和36.0%。
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| 关 键 词： | 压电基片 薄膜 声表面波(SAW) 衰减 微流器件 |
Effects of Poly(Dimethylsiloxane) Film on the Propagation Characteristics of Surface Acoustic Wave |
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| ZHANG Anliang,ZHANG Xiaoquan,HU Wenyan,FU Xiangting and ZHA Yan. Effects of Poly(Dimethylsiloxane) Film on the Propagation Characteristics of Surface Acoustic Wave[J]. Piezoelectrics & Acoustooptics, 2015, 37(5): 748-751 |
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| Authors: | ZHANG Anliang ZHANG Xiaoquan HU Wenyan FU Xiangting ZHA Yan |
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| Affiliation: | (1. School of Electronic Information and Electric Engineering, Changzhou Institute of Technology, Changzhou 213002, China;,2.Lab. of Micro and Nano Electronic System, Ningbo University, Ningbo 315211, China) |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | piezoelectric substrate film surface acoustic wave attenuation microfluidic device |
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