| 反应烧结Si3N4陶瓷微型转子的制备 |
| |
| 引用本文： | 李敬锋,杉木真也,田中秀治,江刺正喜.反应烧结Si3N4陶瓷微型转子的制备[J].无机材料学报,2003,18(5):1081-1085. |
| |
| 作者姓名： | 李敬锋 杉木真也 田中秀治 江刺正喜 |
| |
| 作者单位： | [1]清华大学材料科学与工程系新型陶瓷与精细工艺国家实验室，北京100084 [2]东北大学大学院工学研究科机械电子工学专攻，日本，仙台981-8579 |
| |
| 基金项目： | 清华大学骨干人才计划，教育部留学回国人员科研启动基金 |
| |
| 摘 要： | 介绍了一种适合于制备Si3N4陶瓷微细部件的微细制备技术．该技术主要包括Si粉的预烧结成形和微型加工以及反应烧结等三部分，结合了Si粉预烧结体的可加工性和Si3N4反应烧结所具有的近净尺寸成形特点，具有制备Si3N4陶瓷三维微细部件的优势．本研究利用该技术成功地制备了直径5mm、厚度1．2mm、叶片厚度大约70μm的Si3N4陶瓷微型转子．
|
| 关 键 词： | 陶瓷MEMS 微型器件 微制造 氮化硅 陶瓷转子 |
| 文章编号： | 1000-324X(2003)05-1081-05 |
| 收稿时间： | 2002-7-29 |
| 修稿时间： | 2002年7月29日 |
Fabrication of Reaction-Sintered SisN4 Ceramic Microrotors |
| |
| LI Jing-Feng,Sugimoto Shinya,Tanaka Shuji,Esashi Masayoshi.Fabrication of Reaction-Sintered SisN4 Ceramic Microrotors[J].Journal of Inorganic Materials,2003,18(5):1081-1085. |
| |
| Authors: | LI Jing-Feng Sugimoto Shinya Tanaka Shuji Esashi Masayoshi |
| |
| Affiliation: | 1.KeyStateLaboratoryofNewCeramicsandFineProcessing;DepartmentofMaterialsScienceandEngineering;TsinghuaUniversity;Beijing100084;China;2.DepartmentofMechatronicsandPrecisionEngineering;GraduateSchoolofEngineering;TohokuUniversity;Sendai980-8579;Japan |
| |
| Abstract: | |
| |
| Keywords: | ceramic MEMS microdevices microfabrication silicon nitride ceramic turbine rotor |
| 本文献已被 CNKI 维普 等数据库收录！ |
| 点击此处可从《无机材料学报》浏览原始摘要信息 |
|
点击此处可从《无机材料学报》下载全文 |
