|
|||||
|
|
| CCD多路信号传输器的研制 | |
| 引用本文： | 程开富.CCD多路信号传输器的研制[J].半导体技术,1996(5):39-42. |
| 作者姓名： | 程开富 |
| 作者单位： | 重庆光电技术研究所 |
| 摘 要： | 采用三层多晶硅交迭栅三相埋沟结构，设计并研制成功了１６位线阵ＣＣＤ多路信号传输器，器件动态范围达４５ｄＢ，转移效率≥９９．９９％。文章阐述该器件的结构、工作原理、器件参数分析及影响器件性能的因素和专项工艺研究。 |
| 关 键 词： | CCD 多路信号传输器 多晶硅 交迭栅 埋沟结构 |
| 本文献已被 CNKI 维普 等数据库收录！ | |
