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紫外光刻法制备图案化聚合物纳米管/线阵列的研究
引用本文:李培栋,李晓茹,宋国君,彭智,佘希林,李建江,孙瑾.紫外光刻法制备图案化聚合物纳米管/线阵列的研究[J].功能材料,2010,41(8).
作者姓名:李培栋  李晓茹  宋国君  彭智  佘希林  李建江  孙瑾
作者单位:青岛大学,化学化工与环境学院,山东,青岛,266071
基金项目:国家自然科学基金,山东省自然科学基金 
摘    要:探讨了紫外光刻技术制备图案化聚合物纳米管/线阵列的方法,研究制备过程中的各种影响因素,并找到了最佳的实验条件。采用溶液浸润法,成功制备了不同图案的聚合物纳米结构阵列。溶液浓度为6%(质量分数),得到的是聚合物纳米管阵列;溶液浓度为10.0%(质量分数),得到的是聚合物纳米线阵列。

关 键 词:紫外光刻技术  纳米管  纳米线  AAO模板  图案化

Fabrication of patterned polymer nanostructure arrays by photolithographic approaches
LI Pei-dong,LI Xiao-ru,SONG Guo-jun,PENG Zhi,SHE Xi-lin,LI Jian-jiang,SUN Jin.Fabrication of patterned polymer nanostructure arrays by photolithographic approaches[J].Journal of Functional Materials,2010,41(8).
Authors:LI Pei-dong  LI Xiao-ru  SONG Guo-jun  PENG Zhi  SHE Xi-lin  LI Jian-jiang  SUN Jin
Abstract:
Keywords:
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