| 基于线阵CCD的新型微位移传感器的研究 |
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| 引用本文： | 方平,丁凡,李其朋.基于线阵CCD的新型微位移传感器的研究[J].传感技术学报,2006,19(1):74-77. |
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| 作者姓名： | 方平 丁凡 李其朋 |
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| 作者单位： | 浙江大学,流体传动及控制国家重点实验室,杭州,310027;浙江大学,流体传动及控制国家重点实验室,杭州,310027;浙江大学,流体传动及控制国家重点实验室,杭州,310027 |
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| 摘 要： | 常用的激光三角法微位移传感器适用于直线位移测量,不适用于微小角位移的动态测量.因此研制了一种新型的基于线阵CCD的微小角位移传感器,采用平行光斜射式激光三角法,由准直透镜、聚焦透镜及光栏等光学器件、高速线阵CCD及由CPLD、信号发生电路和采样保持电路等构成的实时信号处理电路组成,具有结构简单,线性度好,灵敏度高,测量频率高,分辨率高和实时性好等特点;介绍了其结构和工作原理,实验测试其特性,并将其应用于高频电-机械转换器动态特性的测量.研究表明该传感器的最大量程为0.2rad,分辨率为0.0002rad,最高测量频率为10 kHz,可应用于高频电-机械转换器等元件的微小角位移的特性的动态检测.
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| 关 键 词： | 微位移传感器 线阵CCD 激光三角法 实时信号处理 |
| 文章编号： | 1005-9490（2006）01-0074-04 |
| 收稿时间： | 2005-08-22 |
| 修稿时间： | 2005年8月22日 |
RESEARCH ON A NOVEL MICRO-DISPLACEMENT SENSOR BASED ON LINEAR CCD |
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| Fang Ping,Ding Fan,Li Qipeng.RESEARCH ON A NOVEL MICRO-DISPLACEMENT SENSOR BASED ON LINEAR CCD[J].Journal of Transduction Technology,2006,19(1):74-77. |
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| Authors: | Fang Ping Ding Fan Li Qipeng |
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| Affiliation: | State Key laboratory of Fluid Power Transmission and Control, Zhejiang University, Hangzhou 310027, China |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | micro displacement sensor linear CCD laser triangle method real-time signal process |
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