| 离子束增强沉积二氧化钒薄膜和器件的研究进展 |
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| 引用本文： | 李金华,袁宁一.离子束增强沉积二氧化钒薄膜和器件的研究进展[J].科学技术与工程,2004,4(1):46-48. |
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| 作者姓名： | 李金华 袁宁一 |
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| 作者单位： | 江苏工业学院信息科学系功能材料实验室,常州,213016 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金 ( 10 175 0 2 7)和 ( 60 2 770 19)资助 |
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| 摘 要： | 用改进了的离子束增强沉积方法从V2O5粉末直接制备了VO2多晶薄膜，薄膜具有较高的温度系数和致密、稳定的结构。详细分析了成膜机理，介绍了薄膜工艺的优化、薄膜性能测试和理论模拟的主要结果。讨论了利用IBED薄膜研制非制冷红外成像阵列的读出电路和微桥结构设计。
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| 关 键 词： | 离子束增强沉积 二氧化钒薄膜 非制冷红外成像 研究进展 |
| 文章编号： | 1671-1815(2004)04-0046-03 |
| 修稿时间： | 2003年9月19日 |
Research Progress of VO2 Film Formed by Ion Beam Enhanced Deposition |
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| LI Jinhu,Yuan Ningyi.Research Progress of VO2 Film Formed by Ion Beam Enhanced Deposition[J].Science Technology and Engineering,2004,4(1):46-48. |
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| Authors: | LI Jinhu Yuan Ningyi |
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| Abstract: | Polycrystalline VO 2 thin film was prepared using modified Ion Beam Enhanced Deposition from V 2O 5 powder. The IBED VO 2 film has higher thermal coefficient of resistance, dense and stable structure. The mechanism, optimized process, properties measurement and theoretical modeling result were introduced mainly. The design of the readout circuit and micro-bridge of uncooled focal plane array with VO 2 sensing film is discussed. |
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| Keywords: | VO 2 film Ion Beam Enhanced Deposition uncooled infrared imaging |
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