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纳米Si-SiO_x薄膜的发光
引用本文:邓晓清,张仕国,樊瑞新.纳米Si-SiO_x薄膜的发光[J].材料科学与工程学报,1998(2).
作者姓名:邓晓清  张仕国  樊瑞新
作者单位:浙江大学
摘    要:本文阐述了纳米硅-氧化硅光致发光的意义和机理,还分别介绍了目前各种用于制备纳米硅-氧化硅的方法和研究现状,最后讨论了今后的发展趋势。

关 键 词:纳米Si-SiO_x  发光
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