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| 微波等离子体刻蚀应用研究 | |
| 引用本文： | 吴锦发,甄汉生,张二力,管祚尧,张秀华,周邦伟.微波等离子体刻蚀应用研究[J].微波学报,1987(2). |
| 作者姓名： | 吴锦发 甄汉生 张二力 管祚尧 张秀华 周邦伟 |
| 作者单位： | 清华大学，清华大学，清华大学，清华大学，清华大学，清华大学 |
| 摘 要： | 近年来,随着大规模集成电路的发展,微波强磁场产生等离子体的方法已开始应用于微细加工技术领域。本文介绍微波等离子体刻蚀应用的实验结果。 |
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