| 六甲基二硅胺烷(HMDS)为原料CVD制备硅基纳米粉体的研究 |
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| 引用本文： | 江东亮,陆忠乾,黄政仁,严东生.六甲基二硅胺烷(HMDS)为原料CVD制备硅基纳米粉体的研究[J].无机材料学报,1997,12(3):356-362. |
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| 作者姓名： | 江东亮 陆忠乾 黄政仁 严东生 |
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| 作者单位： | 中国科学院上海硅酸盐研究所!上海，200050，中国科学院上海硅酸盐研究所!上海，200050，中国科学院上海硅酸盐研究所!上海，200050，中国科学院上海硅酸盐研究所!上海，200050 |
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| 基金项目： | 国家攀登计划A“纳米材料科学”项目 |
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| 摘 要： | 以六甲基二硅胺烷作原料，用ＣＶＤ法合成的纳米粉体，在１０００－１５００℃温度范围内合成的均属无定形，１０００℃合成的纳米颗粒呈圆球形，粒径８－１０ｎｍ，少量２５－３０ｎｍ，在１４００℃高温下合成的颗粒较均匀，为８－１０ｎｍ的圆球形，经高温晶化处理后，低温时合成的粉末呈晶须状，ＳｉＣ和Ｓ相共存，以ＳｉＣ相为主，较高温度下合成的粉体颗粒长大成２０－４０ｎｍ，以β－ＳｉＣ相为主伴有α－ＳｉＣ相，颗粒外表
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| 关 键 词： | 晶化 甲基二硅胺烷 纳米粉体 气相沉积 硅 |
| 收稿时间： | 1996-5-23 |
| 修稿时间： | 1996-8-9 |
Preparation of Si-based Nano-powders from ((CH3)3Si)2NH by CVD |
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| JIANG Dongliang,LU Zhongqian,HUANG Zhengren,YAN Dongsheng.Preparation of Si-based Nano-powders from ((CH3)3Si)2NH by CVD[J].Journal of Inorganic Materials,1997,12(3):356-362. |
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| Authors: | JIANG Dongliang LU Zhongqian HUANG Zhengren YAN Dongsheng |
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| Affiliation: | ShanghaiInstituteofCeramics;ChineseAcademyofSciencesShanghai200050China |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | CVD nano amorphous crystallization |
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