| TFT-LCD Mura缺陷机器视觉检测方法 |
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| 引用本文： | 毕昕,丁汉.TFT-LCD Mura缺陷机器视觉检测方法[J].机械工程学报,2010,46(12). |
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| 作者姓名： | 毕昕 丁汉 |
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| 作者单位： | 上海交通大学机械与动力工程学院,上海,200240 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金，国家高技术研究发展计划(863计划)，上海市科学技术委员会资助项目 |
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| 摘 要： | 针对液晶显示器(Liquid crystal display,LCD)制程中Mura缺陷检测的重要性和人工检测的弊端,研究TFT-LCD Mura缺陷的机器视觉自动检测方法。基于国际半导体设备与材料组织(Semiconductor Equipment and Materials International,SEMI)标准中Mura缺陷的测量规范和LCD视觉检测试验平台,针对Mura缺陷边缘模糊、对比度低、图像中存在重复纹理背景和整体的亮度不均匀等特点,分别研究基于实值Gabor小波滤波的纹理背景抑制方法、基于同态变换和独立分量分析的亮度不均匀校正方法、基于主动轮廓模型和水平集方法的缺陷分割以及基于SEMI标准的缺陷量化方法,综合几个方面的研究,建立Mura缺陷自动检测流程。检测试验证明,所提出方法能较好地抑制纹理背景、校正背景亮度不均匀和莫尔条纹,准确的分割缺陷并进行量化评定。该方法适用于Mura缺陷的自动检测,检测方法与人的视觉特性相似,具有较好的鲁棒性。对于50个带有Mura缺陷的LCD样本,有48个样本被成功检测。
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| 关 键 词： | Mura 缺陷 Gabor 滤波 独立分量分析 主动轮廓模型 水平集 |
Machine Vision Inspection Method of Mura Defect for TFT-LCD |
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| BI Xin,DING Han.Machine Vision Inspection Method of Mura Defect for TFT-LCD[J].Chinese Journal of Mechanical Engineering,2010,46(12). |
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| Authors: | BI Xin DING Han |
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