| 有机半导体器件的真空镀膜技术 |
| |
| 引用本文： | 冯煜东,张福甲.有机半导体器件的真空镀膜技术[J].真空科学与技术学报,2006,26(Z1):75-78. |
| |
| 作者姓名： | 冯煜东 张福甲 |
| |
| 作者单位： | 1. 兰州大学物理科学与技术学院,兰州,730000;兰州物理研究所表面工程技术国家级重点实验室,兰州,730000
2. 兰州大学物理科学与技术学院,兰州,730000 |
| |
| 摘 要： | 重点论述了在P-Si基底上通过真空沉积技术制备PTCDA/P-Si光电探测器的制备工艺和光电性能.所制备的PTCDA/P-SI有机光电探测器具有良好的稳定性及可靠性,总体性能高于进口的无机半导体光电探测器.
|
| 关 键 词： | 有机半导体 真空沉积 光电探测器 |
| 文章编号： | 1672-7126(2006)增-0075-04 |
| 修稿时间： | 2005年9月1日 |
Vacuun Deposition Technology in Organic Semiconductor Device Fabrication |
| |
| Feng Yudong,Zhang Fujia.Vacuun Deposition Technology in Organic Semiconductor Device Fabrication[J].JOurnal of Vacuum Science and Technology,2006,26(Z1):75-78. |
| |
| Authors: | Feng Yudong Zhang Fujia |
| |
| Abstract: | |
| |
| Keywords: | |
| 本文献已被 万方数据 等数据库收录！ |
|
