| 磁控溅射合成Ag/类PEO纳米功能性薄膜的研究 |
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| 引用本文： | 周美丽,陈强.磁控溅射合成Ag/类PEO纳米功能性薄膜的研究[J].包装工程,2008,29(12). |
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| 作者姓名： | 周美丽 陈强 |
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| 作者单位： | 山东工艺美术学院,济南,250014;北京印刷学院印刷包装材料与技术北京币重点实验室,等离子体物理以及材料研究室,北京,102600;北京印刷学院印刷包装材料与技术北京币重点实验室,等离子体物理以及材料研究室,北京,102600 |
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| 摘 要： | 采用反应磁控溅射方法,用Ag作为溅射靶,用乙二醇二甲基醚挥发性单体通过等离子体化学气相聚合制备含Ag的PEO杀菌薄膜;通过FTIR光谱、XPS能谱、UV可见光谱等确定薄膜中的各种成分以及含量,并研究工艺条件对薄膜结构成分的影响;XRD衍射分析薄膜中所掺杂银的晶面结构和Ag的颗粒度大小;AFM分析了表面的形貌和结构.实验发现等离子体的宏观参量如源气体流量比、工作气压、溅射功率等对所聚合的薄膜结构成分影响较大;Ag在薄膜中以原子形态存在而且以(111)晶面为主;Ag(111)对杀菌应用起主要的作用.
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| 关 键 词： | 磁控溅射 Ag/PEO-like 纳米薄膜 |
Study of Ag/PEO-like Nano-composite Functional Film by Magnetron Sputtering |
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| ZHOU Mei-li,CHEN Qiang.Study of Ag/PEO-like Nano-composite Functional Film by Magnetron Sputtering[J].Packaging Engineering,2008,29(12). |
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| Authors: | ZHOU Mei-li CHEN Qiang |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | Ag/PEO-like |
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