| TiO2—K2O—LiZnVO4陶瓷薄膜的制备及其湿敏性能研究 |
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| 引用本文： | 应皆荣,万春荣.TiO2—K2O—LiZnVO4陶瓷薄膜的制备及其湿敏性能研究[J].仪表技术与传感器,1999(1):10-12,16. |
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| 作者姓名： | 应皆荣 万春荣 |
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| 作者单位： | 清华大学核能技术设计研究院 |
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| 摘 要： | 采用溶胶凝胶法制备了ＴｉＯ２－Ｋ２Ｏ－ＬｉＺｎＶＯ４陶瓷薄膜湿敏元件，研究了薄膜的结构和元件的感湿性能。薄膜主要由金红石型ＴｉＯ２构成，化学组成为Ｔｉ：Ｋ：Ｌｉ：Ｚｎ：Ｖ：Ｏ＝１：０．０４：０．１：０．１：０．１：２．４２（原子摩尔比）。工作频率为４０Ｈｚ时，湿敏元件在全湿度范围内具有良好的阻抗一湿度特性及电容－湿度特性，感湿特性曲线线性良好。元件还具有灵敏度高，滞后小，响应快，长期稳定性好等优点
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| 关 键 词： | 溶胶凝胶法 陶瓷薄膜 湿敏元件 湿敏性能 传感器 |
Study on Preparation of TiO 2 K 2O LiZnVO 4 Ceramic Thin Films and Their Humidity sensitive Properties |
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| Ying Jierong\ Wan Chunrong\ He Peijiong Institute of Nuclear Energy Technology,Tsinghua University,Beijing.Study on Preparation of TiO 2 K 2O LiZnVO 4 Ceramic Thin Films and Their Humidity sensitive Properties[J].Instrument Technique and Sensor,1999(1):10-12,16. |
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| Authors: | Ying Jierong\ Wan Chunrong\ He Peijiong Institute of Nuclear Energy Technology Tsinghua University Beijing |
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| Affiliation: | Ying Jierong\ Wan Chunrong\ He Peijiong Institute of Nuclear Energy Technology,Tsinghua University,Beijing 102201 |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | Sol gel Method Humidity Sensor Ceramics TiO 2 Thin Film |
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