| IC真实缺陷的骨架提取方法 |
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| 引用本文： | 王俊平,郝跃,荆明娥.IC真实缺陷的骨架提取方法[J].西安电子科技大学学报,2005,32(2):206-209. |
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| 作者姓名： | 王俊平 郝跃 荆明娥 |
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| 作者单位： | [1]西安电子科技大学微电子研究所，陕西西安710071／／西安电子科技大学通信工程学院，陕西西安，710071 [2]西安电子科技大学微电子研究所，陕西西安710071 |
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| 基金项目： | 国家863高科技计划支持研究(2003AA1Z1630)，北京大学信息处理国家重点实验室开放课题基金资助项目(J62103010026) |
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| 摘 要： | 在集成电路制造中，光刻工艺(尤其是工艺引入的缺陷)直接影响生产的成品率．光刻工艺涉及的缺陷形状多种多样，提取缺陷并将之分类对于提高电路制造成品率是重要的．由于缺陷的骨架是描述缺陷形状及识别缺陷的重要特征，故提出一种集成电路真实缺陷骨架的提取方法，通过定义LS空间的特征值聚类分割集成电路彩色图像，使用小波分解分割集成电路灰度图像，然后基于数学形态学方法滤除分割图像的噪音并提取出缺陷的骨架．实验结果表明该方法使集成电路真实缺陷形状描述简单，从而为缺陷检测与分类提供了准确的依据．
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| 关 键 词： | 集成电路缺陷表征 LS空间聚类 数学形态学滤波 骨架提取 |
| 文章编号： | 1001-2400(2005)02-0206-04 |
Skeleton extraction of IC real defects using morphology |
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| WANG Jun-ping.Skeleton extraction of IC real defects using morphology[J].Journal of Xidian University,2005,32(2):206-209. |
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| Authors: | WANG Jun-ping |
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| Affiliation: | (1. Research Inst. of Microelectronics, Xidian Univ., Xi′an 710071， China;2. School of Communication Engineering, Xidian Univ., Xi′an 710071， China) ; |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | IC defect characterization LS color space clustering morphological filtering skelecton extraction |
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