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| 双频激光干涉式大尺寸轴径测量仪的研究 | |
| 引用本文： | 孟宗,赵新秋.双频激光干涉式大尺寸轴径测量仪的研究[J].中国激光,2004,31(Z1). |
| 作者姓名： | 孟宗 赵新秋 |
| 摘 要： | 采用激光准直仪出射的高稳定光线瞄准和定位吸附在被测工件直径两端点上的两个磁性定位块上的光电接收器,同时使用双频激光干涉仪直接测量出这两个光电接收器中心间的距离,通过几何计算得到被测直径大小.试验表明,该方法测量精度较高,测量系统的相对误差小于5×10-8. |
| 关 键 词： | 光学技术与仪器 激光准直仪 双频激光干涉仪 大直径测量 瞄准定位 |
Research of Measurement Instrmnent for Large -Scale Workpiece Diameter by Dual Frequency Laser Interferometer |
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