| 掺杂元素Ti对WS2薄膜结构和摩擦学性能的影响 |
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| 引用本文： | 张赵云,段泽文,江海霞,张贝贝,赵晓宇,吴有智,王鹏.掺杂元素Ti对WS2薄膜结构和摩擦学性能的影响[J].表面技术,2022,51(6):239-247, 266. |
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| 作者姓名： | 张赵云 段泽文 江海霞 张贝贝 赵晓宇 吴有智 王鹏 |
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| 作者单位： | 兰州理工大学 材料科学与工程学院，兰州 730050;中国科学院兰州化学物理研究所 固体润滑国家重点实验室，兰州 730000 |
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| 基金项目： | 中国科学院西部之光青年学者项目 |
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| 摘 要： | 目的 提高单一成分WS2薄膜的力学和摩擦学性能。方法 采用多靶磁控溅射方法制备不同Ti含量的WS2–Ti复合薄膜。利用X射线能谱仪（EDS）、拉曼光谱仪（Raman）、X射线光电子能谱仪（XPS）、X射线衍射仪（XRD）、扫描电子显微镜（SEM）、纳米压痕仪，对薄膜的成分、化学态、晶体结构、形貌以及力学性能进行表征，并利用球–盘摩擦试验机检测该系列薄膜在大气和真空环境下的摩擦学性能。结果 掺杂元素Ti显著改善WS2薄膜的微观结构、力学性能和摩擦学性能。随着Ti含量的增加，WS2薄膜的结晶度下降，致密度增加，其硬度和杨氏模量分别从0.25 GPa和16.60 GPa增加到3.52 GPa和59.00 GPa。Ti原子数分数为7.17%时，复合薄膜的磨损率在真空和大气环境下分别低至0.10×10-15 m3/（N·m）和2.66×10-15m3/（N·m）。结论 在真空摩擦试验中，WS2基薄膜的...
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| 关 键 词： | 2–Ti复合膜" WS2–Ti复合膜" target="_blank">name="keyword">WS2–Ti复合膜 结构 力学性能 摩擦学性能 |
The Influence of Doped Ti Element on Structure and Tribological Properties of WS2 Film |
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| ZHANG Zhao-yun,DUAN Ze-wen,JIANG Hai-xi,ZHANG Bei-bei,ZHAO Xiao-yu,WU You-zhi,WANG Peng.The Influence of Doped Ti Element on Structure and Tribological Properties of WS2 Film[J].Surface Technology,2022,51(6):239-247, 266. |
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| Authors: | ZHANG Zhao-yun DUAN Ze-wen JIANG Hai-xi ZHANG Bei-bei ZHAO Xiao-yu WU You-zhi WANG Peng |
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| Affiliation: | College of Materials Science and Engineering, Lanzhou University of Technology, Lanzhou 730050, China;State Key Laboratory of Solid Lubrication, Lanzhou Institute of Chemical Physics, Chinese Academy of Sciences, Lanzhou 730000, China |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | WS2-Ti composite film structure mechanical properties tribological properties |
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