基于等离子体注入设备的离子剂量检测装置

针对等离子体浸没式离子注入（PIII）过程中，无法对实际注入目标基板的离子剂量进行检测和显示的问题，设计了一套基于PIII设备的离子剂量检测装置。该装置围绕注入基板放置离子检测装置，等离子体注入过程中，通过信号调理电路和LabVIEW数据采集卡对检测信号进行分析处理，以实现等离子体注入剂量的实时监测。实验结果表明，基于PIII设备的离子剂量检测装置能够有效收集等离子体进行检测，检测结果可以为腔室结构优化和注入工艺改良提供参考依据。