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| 平面薄膜型气敏传感器 | |
| 引用本文： | 刘文利,李建明,吕红浪,裘南畹.平面薄膜型气敏传感器[J].郑州轻工业学院学报(自然科学版),1994(Z1). |
| 作者姓名： | 刘文利 李建明 吕红浪 裘南畹 |
| 作者单位： | 山东工业大学 |
| 摘 要： | 平面薄膜型气敏传感器刘文利，李建明，吕红浪，裘南畹（山东工业大学济南２５００１４）关键词薄膜；氧化锡；酒敏元件中图分类号ＴＰ２１２．２１介绍用粉末浅射研制的ＳｎＯ２／ＧｅＯ２酒敏薄膜的性能与膜厚、掺杂量、温度等的关系．发现其最佳厚度在１０－１～２×１... |
| 关 键 词： | 薄膜 氧化锡 酒敏元件 |
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