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激光微细加工展望
引用本文:
丰田浩一,喻德政.激光微细加工展望[J].电子工业专用设备,1985(2).
作者姓名:
丰田浩一
喻德政
摘 要:
<正> 在电子学领域,将激光微细加工作为新的器件制造技术正在不断发展之中。在IC、LSI制造工艺中,对薄膜形成、光刻、腐蚀等不可缺少的工艺技术如果采用激光微细加工的话,有那些优点呢?从这种观点出发,对目前实际状况加以分析,笔者想就适用于超微细加工的激光加工技术加以介绍,以供有关人员参考。
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