| 大气下工作的微机械陀螺的设计及其噪声特性 |
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| 引用本文： | 陈永,焦继伟,王惠泉,金仲和,张颖,熊斌,李昕欣,王跃林.大气下工作的微机械陀螺的设计及其噪声特性[J].半导体学报,2005,26(1). |
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| 作者姓名： | 陈永 焦继伟 王惠泉 金仲和 张颖 熊斌 李昕欣 王跃林 |
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| 作者单位： | 1. 中国科学院上海微系统与信息技术研究所,传感技术国家重点实验室,上海,200050
2. 浙江大学信电系,杭州,310027 |
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| 基金项目： | 国家重点基础研究发展计划(973计划) |
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| 摘 要： | 设计了一种基于体微机械加工技术的新型音叉式微机械陀螺.该陀螺在驱动模态和检测模态的空气阻尼均为滑膜阻尼,有效提高了微机械陀螺的Q值和灵敏度,同时降低了陀螺的热机械噪声.对陀螺噪声特性进行的分析表明,该陀螺具有相对很低的热噪声.制作了陀螺芯片,并测试了其机械性能和噪声特性.结果表明,该陀螺的噪声谱密度不超过60μV/Hz,灵敏度为10mV/(°·s-1).该微机械陀螺有望实现较高的角速度分辨率.
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| 关 键 词： | 陀螺 微机械加工 噪声 滑膜阻尼 |
Design and Noise Analysis of A Micromachined Gyroscope Working at Atmospheric Pressure |
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| Keywords: | |
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