| 采用MEMS技术制作的螺线管电感 |
| |
| 引用本文： | 高孝裕,周勇,王西宁,雷冲,陈吉安,赵小林.采用MEMS技术制作的螺线管电感[J].半导体学报,2005,26(6). |
| |
| 作者姓名： | 高孝裕 周勇 王西宁 雷冲 陈吉安 赵小林 |
| |
| 作者单位： | 上海交通大学微纳科学技术研究院,微米/纳米加工技术国家重点实验室,薄膜与微细技术教育部重点实验室,上海,200030;上海交通大学微纳科学技术研究院,微米/纳米加工技术国家重点实验室,薄膜与微细技术教育部重点实验室,上海,200030;上海交通大学微纳科学技术研究院,微米/纳米加工技术国家重点实验室,薄膜与微细技术教育部重点实验室,上海,200030;上海交通大学微纳科学技术研究院,微米/纳米加工技术国家重点实验室,薄膜与微细技术教育部重点实验室,上海,200030;上海交通大学微纳科学技术研究院,微米/纳米加工技术国家重点实验室,薄膜与微细技术教育部重点实验室,上海,200030;上海交通大学微纳科学技术研究院,微米/纳米加工技术国家重点实验室,薄膜与微细技术教育部重点实验室,上海,200030 |
| |
| 基金项目： | 国家高技术研究发展计划(863计划)，国家自然科学基金，上海市纳米科技专项基金 |
| |
| 摘 要： | 采用微机电系统技术制作了螺线管电感.为了获得高电感量和Q值,采用UV-LIGA、干法刻蚀、抛光和电镀技术,研制的电感大小为1500μm×900μm×70μm,线圈匝数为41匝,宽度为20μm,线圈之间的间隙为20μm,高深宽比为3.5:1.测试结果表明电感量最大值为6.17nH,Q值约为6.
|
| 关 键 词： | 电感量 微机电系统 品质因子 |
A Solenoid-Type Inductor Fabricated by MEMS Technique |
| |
| Gao Xiaoyu,Zhou Yong,Wang Xining,LEI Chong,Chen Ji'an,Zhao Xiaolin.A Solenoid-Type Inductor Fabricated by MEMS Technique[J].Chinese Journal of Semiconductors,2005,26(6). |
| |
| Authors: | Gao Xiaoyu Zhou Yong Wang Xining LEI Chong Chen Ji'an Zhao Xiaolin |
| |
| Abstract: | A solenoid-type inductor for high frequency application is realized using a micro-electro-mechanical systems (MEMS) technique. In order to achieve a high inductance value and Q-factor, UV-LIGA, dry etching technique,fine polishing and electroplating technique are adopted. The dimensions of the inductor are 1500μm × 900μm × 70μm,having 41 turns with a coil width of 20μm separated by 20μm spaces and a high aspect ratio of 3. 5 : 1. The maximum measured inductance of the inductor is 6.17nH with a Q-factor of about 6. |
| |
| Keywords: | inductance value microelectromechanical systems quality factor |
| 本文献已被 万方数据 等数据库收录！ |
| 点击此处可从《半导体学报》浏览原始摘要信息 |
|
点击此处可从《半导体学报》下载全文 |
|
