| 50/100GHz AWG型光学梳状滤波器的设计与制备 |
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| 引用本文： | 窦金锋,韩培德,胡雄伟.50/100GHz AWG型光学梳状滤波器的设计与制备[J].半导体学报,2005,26(5). |
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| 作者姓名： | 窦金锋 韩培德 胡雄伟 |
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| 作者单位： | 中国科学院半导体研究所,光电子研究发展中心,北京,100083 |
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| 基金项目： | 国家高技术研究发展计划(863计划) |
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| 摘 要： | 以Si基SiO2平面光波导为基础,设计并制备了50/100GHz AWG型光学梳状滤波器.制备得到的AWG型光学梳状滤波器可以覆盖1520～1585nm的波长范围,共有160个信道.功率输出不均匀度＜0.5dB,插入损耗＜8dB,相邻通道的串扰＞13dB,在距离中心频率最远的信道,输出频率偏离ITU标准15GHz.分析了影响器件串扰和信道频率偏移的原因,并提出了相应的解决办法.
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| 关 键 词： | AWG 光学梳状滤波器 平面光波导 Si基SiO2 |
Design and Fabrication of 50/100GHz AWG Based Interleaver |
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| Dou Jinfeng,HAN Peide,Hu Xiongwei.Design and Fabrication of 50/100GHz AWG Based Interleaver[J].Chinese Journal of Semiconductors,2005,26(5). |
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| Authors: | Dou Jinfeng HAN Peide Hu Xiongwei |
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