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| 基于键合技术的新型集成光学干涉仪 | |
| 引用本文： | 李以贵,惠春,宓晓宇,羽根一博.基于键合技术的新型集成光学干涉仪[J].微纳电子技术,2003(8). |
| 作者姓名： | 李以贵 惠春 宓晓宇 羽根一博 |
| 摘 要： | 提出了一种基于超薄薄膜光电二极管(PD)构成的新型集成光学干涉仪构造方案,基于键合技术,论证了超薄薄膜光电二极管阵列集成化构成集成光学干涉仪的可能性.着重描述了集成光学干涉仪构造关键部件--超薄薄膜光电二极管的设计、制造及其特性.所构成的集成光学干涉仪经实验得到初步验证,结果表明,利用微细加工制作微光学干涉计是完全可行的. |
| 关 键 词： | 集成光学干涉仪 超薄膜光电二极管 键合技术 |
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