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| 接触式激光干涉仪的数据采集与处理系统 | |
| 引用本文： | 浦昭邦,范志刚.接触式激光干涉仪的数据采集与处理系统[J].计测技术,1994(3):3-6. |
| 作者姓名： | 浦昭邦 范志刚 |
| 作者单位： | 哈尔滨工业大学!黑龙江省哈尔滨市150006 |
| 摘 要： | 讨论了接触式激光干涉议的数据采集与处理系统，其特点是性能稳定，操作灵活。实验证明，该系统满足仪器分辨率为0．01μm，重复性误差在0．03μm以内的要求。 |
| 关 键 词： | 激光干涉仪 数据采集 微机 数据处理 干涉仪 |
Data Acquisition and Processing System of Contact Type of Laser Interferometers |
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| Pu Zhaobang,Fan Zhigang,Zhang Shanzhong,Wu Jinxie,Gao Song.Data Acquisition and Processing System of Contact Type of Laser Interferometers[J].Metrology & Measurement Technology,1994(3):3-6. | |
| Authors: | Pu Zhaobang Fan Zhigang Zhang Shanzhong Wu Jinxie Gao Song |
| Affiliation: | Pu Zhaobang; Fan Zhigang; Zhang Shanzhong; Wu Jinxie; Gao Song |
| Abstract: | |
| Keywords: | Laser interferometer Data acquisition and processing Microcomputer |
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