| 用于尺寸测量的气针式传感器初探 |
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| 引用本文： | 赵前程,邓善熙,张辉,梁发云.用于尺寸测量的气针式传感器初探[J].仪表技术与传感器,1999(5). |
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| 作者姓名： | 赵前程 邓善熙 张辉 梁发云 |
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| 作者单位： | 合肥工业大学 |
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| 基金项目： | 航天部九五规划项目资助,安徽省自然科学资金 |
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| 摘 要： | 论述了一种新型气动传感器——气针式传感器的静特性。气针式传感器的研制将使气动测量技术用于高精度测量场合成为可能。该传感器的测量范围为±１０μｍ，整个测量系统精度可达±０．０９μｍ．对系统经过进一步完善后，预计测量精度可达±０．０５μｍ．
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| 关 键 词： | 气动测量 气针式传感器 高精度测量 |
Preliminary Investigation of the Pneumatic Probe Sensor for Measurement of the Dimensions |
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| Zhao Qiancheng\ Deng Shanxi\ Zhang Hui\ Liang Fayun.Preliminary Investigation of the Pneumatic Probe Sensor for Measurement of the Dimensions[J].Instrument Technique and Sensor,1999(5). |
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| Authors: | Zhao Qiancheng\ Deng Shanxi\ Zhang Hui\ Liang Fayun |
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| Affiliation: | Zhao Qiancheng\ Deng Shanxi\ Zhang Hui\ Liang Fayun Department of Precise Instrument,Hefei Polytec.University,Hefei 230009 |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | Pnenmatic Measurement Pneamatic Probe Sensor High Precise Measurement |
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